Estruturas com dopagem planar


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Dopagem planar ou dopagem delta consiste na introdução de um plano de dopagem em um determinado material. Dessa forma, é possível aumentar a mobilidade dos portadores, uma vez que os elétrons, na média, estão mais afastados das impurezas ionizadas que lhe deram origem do que no caso da dopagem homogênea. A introdução de um plano de dopagem introduz um potencial tipo V, no caso da dopagem tipo n, e um potencial tipo V invertido, no caso da dopagem tipo p. Também é possível obter uma superrede de dopagem, ou seja, diversos planos de dopagem planar separados por uma distância fixa.

Estudamos aprofundadamente a dopagem planar tipo n em InP, onde o dopante é o Si. Atingimos uma localização para as impurezas inferior a 8 Å. Essa localização foi determinada através de medidas de perfil de carga usando medidas capacitivas junto com um cálculo autoconsistente das equações de Schrödinger e de Poisson. Também foram obtidas superredes de dopagem Si em InP com períodos variando entre 100 e 250 Å. Espectros de fotoluminescência dessas estruturas revelaram uma energia de cut-off que depende do período. Uma transição de um comportamento 2D para 3D pode ser observada com a redução no período das superredes. Além disso, medidas de transporte permitiram uma avaliação detalhada das mobilidades nas diferentes subbandas ou minibandas presentes.

Fig. 1 Perfil em profundidade da concentração líquida de carga medida por CV (pontos) e a concentração atômica de Si medida por SIMS (linha cheia) para a amostra 200.

Fig. 2 Largura à meia altura (FWHM) dos gráficos de CV em função da concentração surficial de portadores. Os quadrados representam os pontos experimentais para amostras contendo um plano de dopagem equanto os diamantes correspondem a estruturas periódicas. As curvas sólidas inferior e superior são resultado de uma simulação numérica assumindo uma localização das impurezas numa região em torno de 10% e 70% do raio de Bohr, respectivamente.  A figura inserida mostra o perfil da concentração líquida de carga para a amostra 187. Os quadrados representam os pontos experimentais obtidos por perfil eletroquímico de CV, enquanto a linha sólida corresponde a uma simulação assumindo a distribuição de impurezas numa região em torno de 10 % do raio de Bohr. A figura inclui o valor da concentração de portadores livres obtida por medidas de efeito Hall.

Barreiras de InP de espessura variando entre 30 e 150 Å, com dopagem planar tipo n no centro, imersas em InGaAs foram obtidas. Estudando esse tipo de estrutura entre os limites de barreira de espessura zero (InGaAs com um plano de dopagem delta) até barreira de espessura infinita (InP com um plano de dopagem) é possível determinar a estrutura eletrônica que otimiza a condutividade. Um estudo utilizando difração de raios-X e fotoluminescência permitiu uma avaliação das características estruturais das interfaces InGaAs/InP e a determinação da espessura das camadas de InGaAs. Além disso, a estrutura eletrônica foi determinada através dos espectros de fotoluminescência em conjunto com um cálculo da equação de Schrödinger na aproximação de massa efetiva. A concentração de portadores e a mobilidade foram determinadas com medidas de efeito Hall, Shubnikov-de Haas e fotoluminescência a baixa temperatura em conjunto com um cálculo auto-consistente.

Fig. 3 Espectros de fotoluminescência para amostras com barreiras delta dopadas. A posição do nível de Fermi é de aproximadamente 820+2 meV para todas as amostras e coincide com o valor associado à composição determinada pelos espectros de raios-X. A densidade total de portadores foi estimada a partir do valor do intervalo de energia.

Fig. 4 Mobilidades e condutividades graficadas em função das espessuras das barreiras. As linhas graficadas servem apenas como guia. Os dados para a amostra de espessura 500 Å correspondem aos dados interpolados de amostras de InP delta -dopadas.

Poços quânticos múltiplos de InGaAs/InP com dopagem planar tipo n nas barreiras foram crescidas. Os poços quânticos de InGaAs possuem espessura fixa de 50 Å e a espessura das barreiras varia de 20 a 50 Å. Espectros de fotoluminescência revelam a presença de um gás bidimensional. A difração de raios-X permitiu uma avaliação do período das superredes, da composição da liga de InGaAs nos poços e da qualidade das interfaces de InGaAs/InP. Medidas de Shubnikov-de Haas juntamente com um cálculo autoconsistente da estrutura eletrônica assinalam a possibilidade de ocorrer uma segregação de Si na direção de crescimento. A observação do declínio na concentração de portadores livres com a redução na espessura da barreira aponta para o papel da interface no armadilhamento de elétrons. Esse declínio na concentração de portadores livres é também evidenciada nos espectros de fotoluminescência sob campo magnético.

Finalmente, superredes de GaAs/AlGaAs com dopagem planar tipo n no poço e tipo p na barreira foram crescidas. Carbono foi utilizado como dopante. A introdução da dopagem planar na superrede deve aumentar o deslocamento Stark, e portanto, deve fornecer um material mais adequado para a confecção de moduladores de amplitude.

Fig. 5 Energia do pico de luminescência em função da temperatura. Observa-se que a baixa temperatura a trasição tem energia menor que de uma amostra não-dopada. Para temperaturas elevadas a transição óptica acompanha a da amostra não-dopada.Está ocorrendo uma mudança de transição indireta (e1QW - hh1B) para direta(e1QW - hh1QW), conforme mostram as curvas calculadas utilizando o modelo k·p e representadas pelas linhas sólidas.

Fig. 6 Esquema mostrando as transições direta e indireta numa estrutura de poços quânticos com superrede de dopagem planar, nipi.

Os resultados obtidos se encontram disponíveis nas seguintes referências:

  • nipi delta-doping superlattices for amplitude modulation

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  • Investigation of the interfaces and dopant incorporation in InP/InGaAs superlattices

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  • Delta-doping Superlattices in Multiple Quantum Wells

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  • Carbon delta-doped AlGaAs

    Christiana V.-B. Tribuzy, Rainer Butendeich, Maurício P. Pires, Patrícia L. Souza e André Henriques
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  • Electronic scattering in doped finite superlattices

    A. B. Henriques, P. L. Souza e B. Yavich
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  • Anisotropy of the cyclotron mass in superlattices containing two populated minibands

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